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发展历程


首台产品研发验证阶段

公司成立至2017年7月
• 公司成立于2015年12月25日;
• 一代机KF4000研制成功,全球首创将ALD技术规模化应用于光伏领域。

下游龙头客户攻坚阶段

2017年8月至2018年5月
• KF6000成功在光伏龙头企业通威太阳能完成量产验证;
• 研发以臭氧工艺为核心工艺的KF10000S机型,产能提升至10000片/小时。

市场与产品突破阶段

2018年5月至2018年12月
• 夸父(KF)系列在各大光伏头部企业产线开始量产爬坡,公司产品在行业内知名度进一步提升;
• 夸父(KF)原子层沉积设备被评定为“江苏省首台(套)重大装备产品”;
• 启动半导体领域与柔性电子领域机型的研发工作,公司实施产品线多元化战略。

公司加速发展阶段

2019年1月至2020年12月
• 推出祝融(ZR)系列PEALD+PECVD二合一设备,首次将PEALD技术应用于光伏领域;
• 半导体领域ALD镀膜设备研发成功,完成多种集成电路关键材料工艺验证,并与客户签订订单;
• 公司进行股份制改造,连续完成两轮融资,并引入多家知名投资机构。

公司战略升级发展阶段

2020年12月至今
• 公司引入新一轮投资机构,正式启动科创板上市;
• 在光伏领域,公司高端光伏装备陆续获得包括阿特斯、隆基股份、爱旭股份、晶科能源等多家重要光伏客户订单,并在通威太阳能、无锡尚德等N型TOPCon高效电池生产线上开展应用,从PERC/PERT进一步向TOPCon乃至HJT/IBC技术延伸;
• 在半导体领域,公司是国内首家成功将量产型High-k原子层沉积设备应用于28nm节点集成电路制造前道生产线的国产设备公司,正式进军逻辑芯片、先进存储、3D-IC等镀膜制造领域。

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